导读：随着绝对压力传感器制造技术的进步和其测量范围的扩大，按照JJG882—2004《压力传感器》规程中要求的校准方法和标准器已经不能满足其在中真空下的校准要求，文章介绍了通过采用动态直接比较法对绝对压力传感器在30Pa～1．2kPa范围进行校准的方法。

    炉精炼工艺所要求的真空压力通常在低真空105～102Pa和中真空102～10－1Pa范围，在此工艺要求下，通常选用皮拉尼规或电容薄膜真空计或者绝对压力传感器作为中、低真空过程检测仪表。但在实际应用中，真空计不仅价格昂贵、互换性差，且诸如MKS系列真空计可能还会受到非商业因素的影响而无法采购。从计量校准角度来讲，除国防计量系统和国家级计量测试研究院外，省市级地方法定计量检定机构基本不具备该类仪表的检定和校准条件，而外送检定从经济性和可操作性上都有着较大的困难。

    相较以上的不便，绝对压力传感器无疑有着先天优势。由于此类设备已标准化，通用性强，技术成熟，所以在工业现场广泛采用，但是能否将绝对压力传感器应用到中真空的检测需要解决如下2个要求。

(1)要有适合的标准设备和校准装置

    根据JJG882—2004《压力传感器》检定规程，同时参考主流标准器供应商的产品说明，检定绝对压力传感器可选的标准器通常为0.05级、测量范围为0～－100kPa的数字压力计，即使是FLUKEPPC4EX－100K的数字压力计，在搭配不同高精度传感器下，其承诺的校准范围也仅仅为绝对压力1kPa～10MPa，二者测量范围均未覆盖中真空，其配套设备的性能同样无法满足中真空下的校准要求。

(2)要有适合的校准方法

    根据与多个传感器制造商沟通了解，由于传感器制造技术的进步，多数绝对压力传感器的测量范围可以覆盖中真空，如E+H随机出厂的校准报告中已经体现其已采用电容薄膜真空计作为真空标准，但出于商业和技术原因，在绝大多数绝对压力传感器的供应商提供的选型手册中，仍未对1kPa以下直至中真空测量范围内的计量性能进行承诺，如拟将绝对压力传感器应用在30Pa～1.2kPa范围，需要对其在该范围的计量性能进行校准，而JJG882—2004《压力传感器》检定规程中提供的方法不能满足需求。

    综上所述，只要解决上述矛盾，将通过校准的绝对压力传感器应用在30Pa～1.2kPa是可以实现的。

    摘要:随着绝对压力传感器制造技术的进步和其测量范围的扩大，按照JJG882—2004《压力传感器》规程中要求的校准方法和标准器已经不能满足其在中真空下的校准要求，文章介绍了通过采用动态直接比较法对绝对压力传感器在30Pa～1．2kPa范围进行校准的方法。

    ＲH炉精炼工艺所要求的真空压力通常在低真空105～102Pa和中真空102～10－1Pa范围，在此工艺要求下，通常选用皮拉尼规或电容薄膜真空计或者绝对压力传感器作为中、低真空过程检测仪表。但在实际应用中，真空计不仅价格昂贵、互换性差，且诸如MKS系列真空计可能还会受到非商业因素的影响而无法采购。从计量校准角度来讲，除国防计量系统和国家级计量测试研究院外，省市级地方法定计量检定机构基本不具备该类仪表的检定和校准条件，而外送检定从经济性和可操作性上都有着较大的困难。

    相较以上的不便，绝对压力传感器无疑有着先天优势。由于此类设备已标准化，通用性强，技术成熟，所以在工业现场广泛采用，但是能否将绝对压力传感器应用到中真空的检测需要解决如下2个要求。

(1)要有适合的标准设备和校准装置

    根据JJG882—2004《压力传感器》检定规程，同时参考主流标准器供应商的产品说明，检定绝对压力传感器可选的标准器通常为0.05级、测量范围为0～－100kPa的数字压力计，即使是FLUKEPPC4EX－100K的数字压力计，在搭配不同高精度传感器下，其承诺的校准范围也仅仅为绝对压力1kPa～10MPa，二者测量范围均未覆盖中真空，其配套设备的性能同样无法满足中真空下的校准要求。

(2)要有适合的校准方法

    根据与多个传感器制造商沟通了解，由于传感器制造技术的进步，多数绝对压力传感器的测量范围可以覆盖中真空，如E+H随机出厂的校准报告中已经体现其已采用电容薄膜真空计作为真空标准，但出于商业和技术原因，在绝大多数绝对压力传感器的供应商提供的选型手册中，仍未对1kPa以下直至中真空测量范围内的计量性能进行承诺，如拟将绝对压力传感器应用在30Pa～1.2kPa范围，需要对其在该范围的计量性能进行校准，而JJG882—2004《压力传感器》检定规程中提供的方法不能满足需求。

    综上所述，只要解决上述矛盾，将通过校准的绝对压力传感器应用在30Pa～1.2kPa是可以实现的。