真空压力传感器故障解决方法和检测方法

真空压力传感器、变送器常见故障

1、压力上去，变送器输也上不去:此种情况，先应检查压力接口是否漏气或者被堵住，如果确认不是，检查接线方式，如接线无误再检查电源，如电源正常再察看传感器零位是否有输出，或者进行简单加压看输出是否变化，有变化证明传感器没有损坏，如果无变化传感器即已经损坏。出现这种情况的其他原因还可能是仪表损坏，或者整个系统的其他环节的问题。

2、加压变送器输出不变化，再加压变送器输出突然变化，泄压变送器零位回不去。产生此现象的原因极有可能是压力传感器密封圈引起的，在我们的客户使用中碰到过几次。一般是因为密封圈规格原因(太软或太厚)，传感器拧紧时，密封圈被压缩到传感器引压口里面堵塞传感器，加压时压力介质进不去，但是压力是很大时突然冲开密封圈，压力 传感器受到压力而变化，而压力再次降低时，密封圈又回位堵住引压口，残存的压力释放不出，因此传感器零位又下不来。排除此原因的最佳方法是将传感器卸下，直接察看零位是否正常，如果正常更换密封圈再试。

3、变送器输出信号不稳

信号不稳的原因有以下几种

A. 压力源本身是一个不稳定的压力B. 仪表或压力传感器抗干扰能力不强C. 传感器接线不牢D. 传感器本身振动很厉害E. 传感器故障

4、变送器接电无输出

可能的原因有：

A. 接错线(仪表和传感器都检查)B. 导线本身的断路或短路C. 电源无输出或电源不匹配D. 仪表损坏或仪表不匹配E. 传感器损坏

5、变送器与指针式压力表对照偏差大首先，出现偏差是正常的现象其次，确认正常的偏差范围确认正常误差范围的方法：

计算出压力表的误差值例如：压力表量程为 30bar , 精度 1.5%，最小刻度为0.2bar正常的误差为：30bar*1.5%＋0.2*0.5()=0.55 bar

6、压力变送器的误差值。

例如：压力传感器量程为20bar,精度0.5%，仪表精度为0.2%,正常的误差为：20bar*0.5%＋20bar*0.2%=0.18bar整体对照时出现的可能性误差范围应以大误差值的设备的误差范围为准，以上例来说，传感器与变送器偏差值在0.55bar 内可视为正常。

如果偏差非常大，应使用高精度仪表(至少此仪表高于压力表和传感器)进行参照。

7、安装位置对零位输出的影响:

由于其测量范围很小，变送器中传感元件的自重即会影响到的输出，因此在安装微差压变送器出现的零位变化情况属正常情况。安装时应使变送器的压力敏感件轴向垂直于重力方向，如果安装条件限制，则应安装固定后调整变送器零位到标准值

1、加压检测

检单的方法是：给传感器供电，用嘴吹压力传感器的导气孔，用万用表的电压档检测传感器输出端的电压变化。如果压力传感器的相对灵敏度很大，这个变化量会明显。如果丝毫没有变化，就需要改用气压源施加压力。

2、零点的检测用万用表的电压档，检测在没有施加压力的条件下，传感器的零点输出。这个输出一般为mV级的电压，如果超出了传感器的技术指标，就说明传感器的零点偏差超范围。　　

3、桥路的检测主要检测传感器的电路是否正确，一般是惠斯通全桥电路，利用万用表的欧姆档，量输入端之间的阻抗、以及输出端之间的阻抗，这两个阻抗就是压力传感器的输入、输出阻抗。如果阻抗是无穷大，桥路就是断开的，说明传感器有问题或者引脚的定义没有判断正确。

 压力传感器及变送器的故障分析压力传感器在运行中发生故障，我们又如何辨别及排障呢？

1、压力上去，变送器输出上不去。此种情况，先应检查压力接口是否漏气或者被堵住。如果确认不是，检查接线方式和检查电源，如电源正常则进行简单加压看输出是否变化，或者察看传感器零位是否有愉出。若无变化则传感器已损坏，可能是仪表损坏或者整个系统的其它环节的问题。

2、变送器输出信号不稳。这种故降有可能是压力源的问题。压力源本身是一个不稳定的压力，很有可能是仪表或压力传感器抗干扰能力不强、传感器本身振动很厉害和传感器故障。

3、加压变送器输出不变化，或加压变送器输出突然变化。泄压变送器零位回不去，很有可能是压力传感器密封圈的问题。常见的是由于密封圈规格原因，传感器拧紧之后密封圈被压缩到传感器引压口里面堵塞传感器，加压时压力介质进不去，但在压力大时突然冲开密封圈，压力传感器受到压力而变化。排除这种故障的最佳方法是将传感器卸下，直接察看零位是否正常，若零位正常可更换密封圈再试。

4、变送器与指针式压力表对照偏差大。出现偏差是正常的现象，确认正常的偏差范围即可。

5、微差压变送器安装位置对零位输出的影响。

压力传感器热零点温漂的补偿技术 

零点热漂移是影响压力传感器性能的重要指标，受到广泛重视。国际上认为零点热漂移仅取决于力敏电阻的不等性及其温度非线性，其实零点热漂移还与力敏电阻的反向漏电有关。在这点上，多晶硅可以吸除衬底中的重金属杂质，从而减小力敏电阻的反向漏电、改善零点热漂移，提高传感器的性能。 

缩小电漂移和修正电漂移还有哪些方式呢？从整体上来分，可以分为硬件补偿和软件补偿两大方向。下面分别就这两个方向的代表性方法做简单介绍。

1 、硬件零点补偿方法对压力传感器而言，硬件补偿方法有在桥臂上串、并联恰当恒定电阻法，桥臂热敏电阻补偿法，桥外串、并联热敏电阻补偿法，双电桥补偿技术、三极管补偿技术等。　　2、 软件补偿零点漂移方法在信号采集过程中，在触发信号未发生到触发采集以及在采集结束后的这些时间段里，输入的信号为零，输出的信号不为零，这种采集到的输出数据以随机噪声的形式存在，对于数据的计算与处理是没有意义的，我们定义这段时间里采集到的信号值称之为零点漂移。　　3、多项式拟合规范化法由于在实际测量中。压力传感器所测量的温度、压力等物理量不会与输出值是严格的线性关系，因此其函数关系常常是多项式形式。多项式可用于非线性信号的拟合，关键在于求解其各项系数。　　4、RBF神经网络法基本原理：通常零点温度补偿软件算法中公式法较复杂，切拟合精度常会受到限制。人工神经网络法具有使用的样本数少，算法简单、具有任意函数逼近能力，应用前景良好。　　此外软件法还包括查表法、插值法等，还有一些厂家从传感器本身的特点出发，采用特殊技术，如改变掺杂浓度等，或者采用自校准技术来解决零点漂移的问题，但这些方法补偿精度不高，效果远没有上述三种方法好。

压力传感器在工业生产应用中，以机械结构型的器件为主，以弹性元件的形变指示压力，但这种结构尺寸大、质量重，不能提供电学输出。随着半导体技术的发展，半导体压力传感器也应运而生。其特点是体积小、质量轻、准确度高、温度特性好。特别是随着MEMS技术的发展，半导体传感器向着微型化发展，而且其功耗小、可靠性高。