各行各业的技术都在一天天进步,很多东西都被研究开发出来,给我们的工作和生活带来了巨大的改变,而耐高温接近传感器就是其中一种。
耐高温接近传感器是工业实践中最为常用的一种压力变送器,其广泛应用于各种工业自控环境,涉及石油管道、水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道送风、锅炉,熔炉等众多行业。
耐高温接近传感器是为了解决在高温环境下对各种气体、液体的压力进行测量。主要用于测量锅炉、管道、高温反应容器内的压力、井下压力和各种发动机腔体内的压力、高温油品液位与检测、油井测压等领域。目前,研究比较多的耐高温接近传感器主要有SOS,SOI,SiO2,Poly2Si等半导体传感器,还有溅射合金薄膜耐高温接近传感器、高温光纤压力传感器和高温电容式压力传感器等。半导体电容式压力传感器相比压阻式压力传感器其灵敏度高、温度稳定性好、功耗小,且只对压力敏感,对应力不敏感,因此,电容式压力传感器在许多领域得到广泛应用。
耐高温接近传感器由硅膜片、衬底、下电极和绝缘层构成。其中下电极位于厚支撑的衬底上。电极上蒸镀一层绝缘层。硅膜片则是利用各向异性腐蚀技术,在一片硅片上从正反面腐蚀形成的。上下电极的间隙由硅片的腐蚀深度决定。硅膜片和衬底利用键合技术键合在一起,形成具有一定稳定性的硅膜片电容压力传感器。
压力传感器是这样一种设备:感应压力并将其转换为电信号,信号强度取决于施加的压力。我们设计和制作各种压力传感器,小到传感元件,大到合适苛刻环境的体系封装。我们是规范和定制压力传感器的行业的领头羊,产品涵盖板装式压力元件到彻底放大和封装的传感器。根据硅压阻微机械加工体系 (MEMS) 技术和硅应变片(Microfused、Krystal Bond)技术,我们的传感器能够丈量从几英寸水柱 (<5 mbar) 到 100K psi (7K bar) 的各种压力。杂乱的设计和先进的生产工艺为医疗、暖通空调及制冷体系、非公路车辆、重型设备、危险区域以及一般工业使用发明了可靠及高性价比的解决方案。我们还为高度计/导航体系生产达到全球zui低功耗、zui小尺寸的气压传感器。我们的传感器通过信号调理和温度补偿,提供模仿或数字输出。压力传感器不管是在工业,农业都有着特别广泛的使用,可是针对不同的环境,关于压力传感器的要求也就不相同,一般的是要考虑压力传感器的耐温情况,我们能够把压力传感器分为超低温压力传感器,常温压力传感器,高温压力传感器等等。
超低温压力传感器采用不锈钢一体化封装结构,感压膜片采用良好的特别设计,使传感器在超低温-196℃环境下安全稳定工作,体积细巧,丈量精度高,动态响应频率高,抗腐蚀能力强,作业寿命长。超低温压力传感器一般用于低温科学实验、液态氧、液态氮、液态氢、液态氦等冷却罐、低温储罐、推进剂等的压力低温丈量航天、航空、舰艇等的低温储罐等。常温压力传感器耐温一般是-40~85℃,这种传感器一般采用分散硅进口芯片或者陶瓷芯片,主要用于一般工业、农业和服务页,这种传感器也是使用得较多的一款传感器,高温传感器一般耐温的200℃,主要用于高温工业上。高温熔体压力传感器一般能够丈量400℃左右,主要用于丈量锅炉、蒸汽等高温介质。