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耐高温压力传感器的集成化分析

文章出处:人气:6发表时间:2019-4-16 16:11:19

压力传感器的集成化是指将多个功能相同或不同的敏感器件制作在同一个芯片上构成传感器阵列,主要有以下几个方面的含义:

一、是将多个功能完全相同的敏感单元集成制造在同一个芯片上,用来测量被测量的空间分布信息。

二、是对多个结构相同、功能相近的敏感单元进行集成,例如将不同气敏传感元集成在一起组成“电子鼻”,利用各种敏感元对不同气体的交叉敏感效应,采用神经网络模式识别等数据处理技术,可以对混合气体的各种组分同时监测,得到混合气体的组成信息,同时提高气敏传感器的测量精度;这层含义上的集成还有一种情况是将不同量程的传感元集成在一起,可以根据待测量的大小在各个传感元之间切换,在测量精度的同时,扩大传感器的测量范围。

智能压力传感器主要由传感器、微处理器及其相关电路组成。压力传感器不但可以对传感器测量数据进行计算、存储、数据处理,还可以通过反馈回路对传感器进行调节。由于计算机充分发挥各种软件的功能,可以完成硬件难以完成的任务,从而大大降低传感器制造的难度,提高传感器的性能,降低成本。传感器将被测的物理量转换成相应的电信号,送到信号调理电路中,进行滤波、放大、模-数转换后,送到微计算机中。

如果从结构上划分,智能传感器可以分为集成式、混合式和模块式。集成智能传感器是将一个或多个敏感器件与微处理器、信号处理电路集成在同一硅片上,集成集成度高,体积小,但目前的技术水平还很难实现;将传感器和微处理器、信号处理电路做在不同芯片上,则构成混合式智能传感器,目前这类结构较多;初级的智能传感器也可以由许多互相独立的模块组成,如将微计算机、信号调理电路模块、数据电路模块、显示电路模块和传感器装配在同一壳结构内则组成模块式智能传感器。

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